センサユニット

MEMSセンサによる計測革命

MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）センサは携帯電話、家電、自動車などすでに幅広く使われており、センサの劇的な小型化と低価格化に貢献しています。自動車の接触防止のためのToF(光距離)センサや、携帯電話の姿勢を測るジャイロセンサはよく知られていますが、近年産業用用途にも対応できる高性能MEMS製品が続々とアメリカ・ヨーロッパの大手半導体メーカーから発表されています。MEMSチップはSTM32などの汎用マイコンで制御することを前提として設計されていますので、高価な変換器なしでマイコン内臓産業用ラズベリーパイMICA-R STM32 SENSORモデルに直接接続できます。MEMSセンサと高性能マイコンSTM32, 産業用ラズベリーパイを組合せることでIoT高度計測システムを圧倒的な低コストで実現できる時代が到来しています。

高性能MEMS振動センサによるモーター故障診断・予知保全

スマートフォンなどにはすでにMEMS加速度・ジャイロセンサが搭載されていますが、汎用MEMS加速度センサは計測可能周波数が5～10kHzでノイズレベルも高かったために、モーターや回転機構の故障診断には残念ながら不十分でした。ハーティングのMEMSベース振動センサは、2万円台という価格設定ながら、最新の2万Hz超まで計測できる産業用MEMS加速度センサと独自の高次フィルタ回路により、これまでのMEMS加速度センサの常識を破るレベルの高周波帯域、低ノイズ、高感度を実現。ベアリングのかじり等で発生する高周波異常振動の検知を可能にしました。このセンサは、マイコン内蔵産業用ラズパイMICA-R STM32 SENSORモデルまたは無線センサボックスrMICA-vibrationに直接接続することにより、2万Hz(50μs)での高速サンプリング処理が実現できます。

ハーティングでは今後も各種MEMSチップを使った産業用センサをラインアップしていきます。また、産業用用途MEMSセンサ開発をご検討であれば、是非ご相談ください。